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01 NeuroLitho
Physics-Informed AI 기반 리소그래피 공정 해석-설계 솔루션
전통적인 수치해석 대비 400배 이상 빠른 계산속도로 실시간 솔루션 제공합니다.
AI 기반 M3D 모델
AI 기반 PEB 모델
AI 기반 Dev. 모델
리소그래피 공정 관련 광학, 화학, 식각, 구조 해석
Inverse Lithography
Source/Mask/Source-Mask 최적화
PR 등 소재 물성 추정
고정밀 라벨 및 반도체 계측 데이터 생성 기술
고정밀 라벨 및 반도체 계측 데이터 생성 기술
02NeuroGauge
반도체 공정 특화
MI 솔루션
소량의 데이터만으로 신속한 모델 학습과 배포가 가능한 계측 보조 솔루션.
SEM 이미지 내 패턴 정밀 추출 및 설계 도면·레퍼런스 이미지와의 자동 정렬을 지원합니다.
AI-assisted 라벨링
Data-Efficient Learning
Interactive Inference
AI-assisted 계측
Fast · Flexible · Few Data
소량의 데이터만으로 신속한 모델 학습과 배포가 가능한 실용적 AI 기술
Precision by Metrology & Inspection
컨투어·정렬·결함·CD/LER/LWR 등 정밀 MI를 통해 신뢰 가능한 품질
Human-in-the-Loop AI-powered Engineering
인터랙티브 포인트 프롬프트 기반 워크플로우로 사람과 AI의 협업 강화
Autonomous Adaptive Training
높은 일반화 성능으로 공정 이미지 변동에 유연하게 대응하는 적응형 훈련