Product · Vision AI
NeuroGauge-Semi
반도체 및 패키징 검사 이미지를 분석하여 이미지 품질 개선, 패턴 정렬, 영역 분리, 계측 및 이상 후보 탐지를 지원하는 Vision AI 기반 정밀 검사·계측 엔진입니다.
Core Modules
검사·계측 파이프라인의 핵심 모듈
Capabilities
주요 기능
- 검사 이미지 복원 및 노이즈 제거
- 서로 다른 검사 이미지 간 변환 및 보정
- SEM-Mask Layout 및 Die-layout 패턴 정렬
- 패턴 세그멘테이션
- 컨투어 추출
- CD, LER, LWR 등 치수 계측 지원
- Recipe-light 이상 후보 탐지
- Defect heatmap 및 판독 보조
Product Tour
데이터셋 구축부터 세그멘테이션·복원·추론까지, 하나의 워크플로
NeuroGauge는 데이터셋 관리, 세그멘테이션, 이미지 복원, 모델 학습과 배치 추론을 하나의 웹 인터페이스에서 제공합니다. 학습된 모델을 곧바로 현장 검사 이미지에 적용할 수 있습니다.
세그멘테이션 워크스페이스 — point·box 프롬프트로 픽셀 단위 세그멘테이션을 수행하고, Auto Seg와 Target Layout 오버레이, 세그먼트 라이브러리로 반복 작업을 줄입니다
Applications
적용 분야
SEM 검사 및 계측
- SEM-Mask Layout 패턴 정렬
- 패턴 세그멘테이션·컨투어 추출
- CD, LER, LWR 계측 지원
- 설계 대비 패턴 편차 분석
검사 이미지 품질 개선
- 저해상도 이미지 복원
- 노이즈 제거
- 서로 다른 검사 이미지 간 변환
- 결함 정보 보존형 이미지 개선
이상·결함 탐지
- 기준값 설정 부담을 줄이는 recipe-light 이상 후보 탐지
- Defect heatmap 및 결함 위치 시각화
- 판독 우선순위 제공
- 엔지니어 검토 지원
Synergy
NeuroSim-Litho와 연결됩니다
NeuroSim-Litho가 생성한 시뮬레이션 패턴·컨투어 데이터는 NeuroGauge-Semi 모델의 학습 사전정보와 데이터 보강에 활용됩니다. 현장 데이터가 부족한 환경에서도 공정별 모델 구축이 가능해집니다.
NeuroSim-Litho 보기