Product · Physics-Informed AI
NeuroSim-Litho
리소그래피 공정조건에 따른 패턴 형상과 공정 결과를 빠르게 예측하고, 조건 탐색을 지원하는 물리정보 AI 기반 공정 해석·설계 엔진입니다.
Highlights
NeuroSim-Litho의 핵심 특징
전통 수치해석 대비 100배 이상 빠른 속도
물리정보 AI 기술로 전통적인 수치해석 기법 대비 100배 이상 빠르게 공정 결과를 예측합니다.
재학습 없는 공정조건 일괄 예측
하나의 공정조건에서 학습한 모델로, 재학습 없이 다양한 공정조건에 대한 패턴 변화를 일괄 예측합니다.
Hotspot 예측 및 공정 민감도 분석
공정 리스크가 높은 hotspot을 예측하고 조건별 민감도를 분석합니다.
빠르고 정확한 Source-Mask Optimization
광원과 Mask Layout 최적화를 빠르고 정확하게 지원합니다.
가상의 SEM 이미지 생성
시뮬레이션 결과로부터 가상의 SEM 이미지를 생성하여 검사·계측 AI 학습을 지원합니다.
Capabilities
주요 기능
- 리소그래피 공정조건 탐색
- Focus, dose 등 조건 변화에 따른 패턴 예측
- 공정조건 일괄 분석
- Process window 도출
- 최적 공정조건 후보 제시
- 패턴 및 컨투어 데이터 생성
- 검사·계측 AI 학습을 위한 시뮬레이션 정보 제공
Applications
리소그래피 공정개발에 적용됩니다
- 공정조건 탐색
- 패턴 형상 예측
- Process window 분석
- 공정조건 후보 비교
Synergy
NeuroGauge-Semi와 연결됩니다
NeuroSim-Litho의 시뮬레이션 결과와 생성데이터는 NeuroGauge-Semi의 정렬·세그멘테이션·컨투어 모델 학습을 지원합니다.
NeuroGauge-Semi 보기